在半導(dǎo)體工藝中把做好的芯片從大源片上分離開(kāi)來(lái),需要一步叫劃片的工藝。劃片工藝是使用金剛砂輪把硅片切開(kāi),在切割的過(guò)程中能產(chǎn)生大量的硅片和金屬等的碎渣,這些碎渣會(huì)對(duì)芯片造成沾污,這就需要在劃片工藝中形成的礦渣進(jìn)行清除,方法是對(duì)硅片進(jìn)行清洗。傳統(tǒng)的清洗方法是用高壓水槍噴水清洗,或者用棉絨等蘸水擦洗,然后用氮?dú)獯蹈?。這些方法容易造成對(duì)做好的芯片表面的劃傷或者二次污染,清洗效果不佳。所以需要有一種專(zhuān)門(mén)清洗這種硅片的設(shè)備,既能清洗干凈,又不會(huì)產(chǎn)生二次污染。
 

　　硅片甩干機(jī)具有位于機(jī)箱內(nèi)的甩干機(jī)構(gòu)、甩干輔助設(shè)備及電控系統(tǒng)，電控系統(tǒng)由交流伺服驅(qū)動(dòng)電路、可編程控制器(PLC)、觸摸屏和交流伺服電機(jī)組成，觸摸屏的數(shù)據(jù)通訊端分別和可編程控制器的數(shù)據(jù)通訊端及交流伺服驅(qū)動(dòng)電路的通訊連接端連接，交流伺服驅(qū)動(dòng)電路的電機(jī)連接端及編碼器連接端分別和交流伺服電機(jī)的電源輸入端及編碼器輸出端電連接。
 

 

　　利用噴出的氮?dú)夂透邏核畞?lái)清洗硅片,然后停止噴水,利用高速旋轉(zhuǎn)和噴出的氮?dú)?將硅片吹干,使硅片的清洗和干燥比較均勻。主要完成的功能包括按鍵控制、LCD顯示、抽真空吸片、低速旋轉(zhuǎn)沖洗、高速旋轉(zhuǎn)甩干、步進(jìn)電機(jī)擺動(dòng)、排水以及由氣缸控制的開(kāi)關(guān)門(mén)動(dòng)作。單片機(jī)系統(tǒng)輸出的信號(hào)經(jīng)三極管放大后,由驅(qū)動(dòng)芯片進(jìn)行驅(qū)動(dòng)控制繼電器,再控制電磁閥和直流電機(jī)驅(qū)動(dòng)器,從而控制各功能部分動(dòng)作。
 

　　硅片甩干機(jī)的維護(hù)保養(yǎng)：
 

　　1、保證安裝可靠接地。
 

　　2、檢查所有進(jìn)出排水閥是否正常。
 

　　3、檢查控制面板上的各種操作按鈕，如有損壞及時(shí)更換。
 

　　4、檢查各個(gè)電氣柜進(jìn)出線(xiàn)螺絲是否松動(dòng)，并及時(shí)進(jìn)行緊固。
 

　　5、檢查及清潔電氣原器件，避免造成漏電及局部短路，接觸不良。
 

　　6、檢查管路是否有泄漏，若發(fā)現(xiàn)異常情況通知相關(guān)設(shè)備維修人員進(jìn)行處理。
 

　　7、可用百潔布將甩盤(pán)下及周?chē)匿P跡清理干凈。
 

　　8、可用無(wú)塵紙沾用酒精將腔內(nèi)、甩盤(pán)及周邊清理干凈。
 

　　9、使用完畢后切斷設(shè)備電源。