硅片甩干機(jī)也稱(chēng)為晶圓甩干機(jī)或SRD(spin rinse dryer)，是一種用于半導(dǎo)體制程中清洗后干燥晶圓的設(shè)備。其工作原理主要是利用離心力和揮發(fā)性有機(jī)溶劑來(lái)干燥硅片，它是半導(dǎo)體制造過(guò)程中不可少的設(shè)備，對(duì)于保證產(chǎn)品質(zhì)量和提高生產(chǎn)效率具有重要作用。
1.離心力脫水：硅片在濕化學(xué)過(guò)程后需要清洗和干燥，SRD通過(guò)高速旋轉(zhuǎn)的離心力將硅片上的水分甩出，實(shí)現(xiàn)快速脫水。根據(jù)晶片運(yùn)動(dòng)方式的不同，離心甩干可以分為立式和水平式兩種類(lèi)型，二者雖然在工藝上有所差異，但脫水原理相似。
2.IPA蒸汽干燥：IPA(異丙醇)因其揮發(fā)性強(qiáng)和混溶性好的特點(diǎn)，常用于晶圓的干燥過(guò)程。IPA可以與水混溶，并在一定的條件下迅速揮發(fā)，帶走混合液體中的水分，從而干燥晶圓。這種方法對(duì)微細(xì)結(jié)構(gòu)友好，避免了機(jī)械力可能導(dǎo)致的晶圓破壞，并且可以減少顆粒污染。但需要注意的是，IPA易燃，操作時(shí)需遵守安全規(guī)定并確保良好通風(fēng)。
3.自動(dòng)化設(shè)備設(shè)計(jì)：電氣系統(tǒng)通常采用變頻器調(diào)速和PLC控制，以確保操作的穩(wěn)定性和可靠性。機(jī)械部分設(shè)計(jì)要求能夠適應(yīng)不同尺寸的電池片，并在高速旋轉(zhuǎn)和特大離心力的作用下保持穩(wěn)定。
一、硅片甩干機(jī)的開(kāi)機(jī)
1.打開(kāi)氣閥，然后合上總電源開(kāi)關(guān)、及各個(gè)主電源開(kāi)關(guān)；
2.打開(kāi)操作屏左側(cè)的電源啟動(dòng)按鈕蓋，按一下操作屏左側(cè)上的紅色“電源”按鈕，打開(kāi)操作屏電源。
二、硅片甩干機(jī)的基本操作
1.點(diǎn)擊“手動(dòng)畫(huà)面”進(jìn)入手動(dòng)調(diào)試畫(huà)面，該畫(huà)面有“低速關(guān)/開(kāi)、高速關(guān)/開(kāi)”按鍵。在參數(shù)設(shè)定畫(huà)面設(shè)定好低速噴水轉(zhuǎn)速和高速噴氮轉(zhuǎn)速后，在手動(dòng)調(diào)試畫(huà)面調(diào)試電機(jī)離心轉(zhuǎn)速情況。
2.點(diǎn)擊“參數(shù)設(shè)置”按鍵彈出“請(qǐng)輸入密碼：“”。點(diǎn)擊“”鍵，彈出數(shù)字鍵輸入密碼“123456”后點(diǎn)擊數(shù)字鍵上的“ENT”鍵確認(rèn)后再點(diǎn)擊“進(jìn)入”按鍵打開(kāi)參數(shù)設(shè)置畫(huà)面進(jìn)行“低速噴水時(shí)間、高速噴氮時(shí)間、低速噴水轉(zhuǎn)速、高速噴氮轉(zhuǎn)速、參數(shù)復(fù)位、加熱關(guān)/開(kāi)、自動(dòng)關(guān)/開(kāi)”等設(shè)置。
3.設(shè)置溫度，按溫控儀上的上下調(diào)整按鈕進(jìn)行工藝溫度設(shè)定。
4.按一下操作面板上的“開(kāi)門(mén)”按鈕，甩干機(jī)操作屏首頁(yè)畫(huà)面上的“鎖關(guān)”轉(zhuǎn)換成“鎖開(kāi)”，甩干機(jī)門(mén)打開(kāi)。
5.兩手同時(shí)按下操作面板上的“關(guān)門(mén)”按鈕，甩干機(jī)操作屏首頁(yè)畫(huà)面上的“鎖開(kāi)”轉(zhuǎn)換成“鎖關(guān)”，甩干機(jī)門(mén)關(guān)閉。
6.按一下操作屏上的“啟動(dòng)按鈕，自動(dòng)運(yùn)行甩干機(jī)。
7.點(diǎn)擊“報(bào)警記錄”進(jìn)入報(bào)警記錄界面，查看報(bào)警記錄。
8.設(shè)備運(yùn)行時(shí)出現(xiàn)異常情況，及時(shí)按下操作屏右側(cè)的“急停”按鈕，松開(kāi)“急停”按鈕按“急停”按鈕上的箭頭旋轉(zhuǎn)退出急停狀態(tài)。
三、硅片甩干機(jī)的關(guān)機(jī)
1.按操作屏下的“電源”按鈕，關(guān)閉操作屏電源。
2.關(guān)閉氣閥、然后關(guān)閉總電源開(kāi)關(guān)及各個(gè)主電源開(kāi)關(guān)。
